صاف ڪمرن جي آپريشن ۾ نمي هڪ عام ماحولياتي ڪنٽرول حالت آهي. سيمي ڪنڊڪٽر صاف ڪمرن ۾ نسبتي نمي جي ٽارگيٽ ويليو کي 30 کان 50٪ جي حد ۾ ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي، جيڪو غلطي کي ±1٪ جي تنگ حد اندر رکڻ جي اجازت ڏئي ٿو، جهڙوڪ فوٽو ليٿوگرافڪ علائقو - يا پري الٽراوائليٽ پروسيسنگ (DUV) علائقي ۾ اڃا به ننڍو. - ٻين هنڌن تي، توهان ±5٪ جي اندر آرام ڪري سگهو ٿا.
ڇاڪاڻ ته نسبتي نمي ۾ ڪيترائي عنصر آهن جيڪي صاف ڪمري جي مجموعي ڪارڪردگي ۾ حصو وٺي سگهن ٿا، جن ۾ شامل آهن:
● بيڪٽيريا جي واڌ؛
● ڪمري جي حرارت تي عملي کي محسوس ٿيندڙ آرام جي حد؛
● جامد چارج ظاهر ٿئي ٿو؛
● ڌاتو جي سنکنرن؛
● پاڻي جي بخارن جو ڳرڻ؛
● لٿوگرافي جو خراب ٿيڻ؛
● پاڻي جذب ڪرڻ.
بيڪٽيريا ۽ ٻيا حياتياتي آلودگي (ڦڦڙ، وائرس، فنگس، مائٽس) 60 سيڪڙو کان مٿي نمي واري ماحول ۾ فعال طور تي وڌي سگهن ٿا. ڪجهه نباتات تڏهن وڌي سگهن ٿيون جڏهن نمي 30 سيڪڙو کان وڌيڪ هجي. جڏهن نمي 40 سيڪڙو ۽ 60 سيڪڙو جي وچ ۾ هجي، ته بيڪٽيريا ۽ سانس جي انفيڪشن جا اثر گهٽ ۾ گهٽ ڪري سگهجن ٿا.
40٪ کان 60٪ جي حد ۾ نسبتي نمي پڻ هڪ معمولي حد آهي جنهن ۾ انسان آرامده محسوس ڪن ٿا. گهڻي نمي ماڻهن کي اداس محسوس ڪرائي سگهي ٿي، جڏهن ته 30٪ کان گهٽ نمي ماڻهن کي خشڪي، ڦاٽل، ساهه کڻڻ ۾ تڪليف ۽ جذباتي تڪليف محسوس ڪرائي سگهي ٿي.
وڌيڪ نمي اصل ۾ صاف ڪمري جي مٿاڇري تي جامد چارج جي جمع کي گھٽائي ٿي - هي گهربل نتيجو آهي. گهٽ نمي چارج جي جمع لاءِ وڌيڪ موزون آهي ۽ اليڪٽرو اسٽيٽڪ خارج ٿيڻ جو هڪ امڪاني طور تي نقصانڪار ذريعو آهي. جڏهن نسبتي نمي 50٪ کان وڌيڪ هوندي آهي، ته جامد چارج تيزي سان ختم ٿيڻ شروع ٿيندو آهي، پر جڏهن نسبتي نمي 30٪ کان گهٽ هوندي آهي، ته اهي انسوليٽر يا بي زمين مٿاڇري تي ڊگهي وقت تائين برقرار رهي سگهن ٿا.
35٪ ۽ 40٪ جي وچ ۾ نسبتي نمي هڪ اطمينان بخش سمجهوتو ٿي سگهي ٿي، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڪلين روم عام طور تي جامد چارج جي جمع کي محدود ڪرڻ لاءِ اضافي ڪنٽرول استعمال ڪندا آهن.
ڪيترن ئي ڪيميائي رد عملن جي رفتار، جنهن ۾ سنکنرن جو عمل به شامل آهي، وڌي ويندي جيئن نسبتي نمي وڌندي. صاف ڪمري جي چوڌاري هوا جي سامهون ايندڙ سڀئي مٿاڇريون جلدي پاڻي جي گهٽ ۾ گهٽ هڪ مونوليئر سان ڍڪيل هونديون آهن. جڏهن اهي مٿاڇريون هڪ پتلي ڌاتو ڪوٽنگ مان ٺهيل هونديون آهن جيڪا پاڻي سان رد عمل ڪري سگهي ٿي، ته پوءِ وڌيڪ نمي رد عمل کي تيز ڪري سگهي ٿي. خوشقسمتيءَ سان، ڪجهه ڌاتو، جهڙوڪ ايلومينيم، پاڻي سان حفاظتي آڪسائيڊ ٺاهي سگهن ٿا ۽ وڌيڪ آڪسائيڊيشن رد عمل کي روڪي سگهن ٿا؛ پر ٻيو ڪيس، جهڙوڪ ڪاپر آڪسائيڊ، حفاظتي نه آهي، تنهن ڪري وڌيڪ نمي واري ماحول ۾، ڪاپر جي مٿاڇريون سنکنرن لاءِ وڌيڪ حساس هونديون آهن.
ان کان علاوه، هڪ اعلي نسبتا نمي واري ماحول ۾، نمي جي جذب جي ڪري بيڪنگ چڪر کان پوءِ فوٽو ريزسٽ وڌايو ويندو آهي ۽ وڌي ويندو آهي. فوٽو ريزسٽ چپکڻ پڻ وڌيڪ نسبتا نمي جي ڪري منفي طور تي متاثر ٿي سگهي ٿو؛ گهٽ نسبتا نمي (تقريبن 30٪) فوٽو ريزسٽ چپکڻ کي آسان بڻائي ٿي، جيتوڻيڪ پوليمرڪ موڊيفائر جي ضرورت کان سواءِ.
سيمي ڪنڊڪٽر صاف ڪمري ۾ نسبتي نمي کي ڪنٽرول ڪرڻ من ماني ناهي. جڏهن ته، وقت جي تبديلي سان، عام، عام طور تي قبول ٿيل طريقن جي سببن ۽ بنيادن جو جائزو وٺڻ بهتر آهي.
نمي شايد اسان جي انساني آرام لاءِ خاص طور تي قابل ذڪر نه هجي، پر اهو اڪثر ڪري پيداوار جي عمل تي وڏو اثر وجهندو آهي، خاص طور تي جتي نمي وڌيڪ هوندي آهي، ۽ نمي اڪثر ڪري بدترين ڪنٽرول هوندي آهي، اهو ئي سبب آهي ته صاف ڪمري جي گرمي پد ۽ نمي ڪنٽرول ۾، نمي کي ترجيح ڏني ويندي آهي.
پوسٽ جو وقت: سيپٽمبر-01-2020